单项选择题
采用铝作为LR/HR系列干泵的主要材料的理由是什么？（）
A.质量轻，便于搬送B.材质软，便于加工C.热传导快，利于温度均热化D.表面光洁度高，不容易磨损
单项选择题 下列有关离子注入机基本单元定义说法错误的是（）。
单项选择题 避免坩埚影响而使用的MCZ法在多少寸硅基板上是主流？（）
单项选择题 硅添加磷后会形成什么型硅？（）
