问答题
简述铜互连的优点及采取的工艺措施。
优点：①电阻率更低；②电流密度高：抗电迁徙能力好于铝，铜合金中加入Al或Ti进一步增强抗电迁移；③更少的工艺步骤：采用大......
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问答题 简述电迁移现象及解决方法。
问答题 简述铝的结穿刺现象及解决方法。
问答题 简述铝互连的优缺点。
