问答题
简述铝互连的优缺点。
优点：①电阻率低；②铝的成本低；③与硅和二氧化硅的粘附性好；④易于沉积成膜（蒸发、溅......
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问答题 简述高能离子轰击的内容。
问答题 简述电镀的优缺点。
问答题 简述溅射的优缺点。
