问答题
简述什么焦深(DOF)及其公式。
焦深是焦点上下的一个范围,在这个范围内图像连续保持清晰。焦深类似照相的景深,集成电路光刻中的景深很小,一般在1.0&mu......
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问答题 写出分辨率(R)公式及简述提高分辨率的方法。
问答题 写出数值孔径(NA)公式。
问答题 简述正胶和负胶区别。