单项选择题
真空区域一般划分爲（）个区域。
A.2或3 B.4或5 C.6或7 D.8或9
单项选择题 Cryo Pump（冷冻泵浦）正常使用的温度是（）。
单项选择题 四层警示灯号中绿色所代表的动作是（）。
单项选择题 一般溅镀使用制程气体爲Ar，下列原因（）是错误的？
