填空题 变频器由（）和控制电路组成。

填空题 何服驱动装置通过驱动主轴和（）来实现机床运动。

问答题 三台电机M1，M2，M3，当M1启动时间t1后M2启动，经过时间t2后M3启动，停止时M3停止，时间t3后M2停止，时间t4后M1停止，请设计出电气控制原理图。