判断题 离子注入工艺中被掺杂的材料称为靶，靶材料可以是晶体，也可以是非晶体，非晶靶也称为无定形靶。

判断题 热扩散掺杂的工艺可以一步实现。

判断题 替位式扩散就是替位杂质和邻近晶格位置上的原子互换。