名词解释
预淀积
与扩散实在较低温度下，采用恒定表面源扩散方式，在硅片表面扩散一层数量一定按余误差函数形式分布的杂质，由于温度较低，且时间......
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名词解释 两步法扩散
名词解释 有限表面源扩散
名词解释 分凝系数
