问答题 哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。

问答题 定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？

问答题 例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。