单项选择题
Plasma-CVD的原料分子是靠什么来分解的？（）
A.高温B.离子C.电子D.光子
单项选择题 还原硅气相成长的硅纯度可以达到多少？（）
单项选择题 离子注入机通过什么控制注入SiWafer的深度？（）
单项选择题 ULVAC的检漏仪用什么气体检漏？（）
