单项选择题 关于Beamline的功能，不正确的是（）。

单项选择题 隔膜真空计精度比较高，误差大约是（）。

单项选择题 CVD法成膜使用气体原料，通过分解还原、（）、置换等化学反应使薄膜凝结在基板表面的成膜方法。