问答题
如何可以根除磁控溅射中的“拉弧”现象？
采用灭弧电源和脉冲溅射可以达到此目的。前者定时地产生一个反向脉冲进行中和，根除诱因。后者使靶与阳极周期交换位置，能及时中......
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问答题 磁控溅射沉积中为什么会出现“拉弧”？
问答题 什么是阳极消失？
问答题 在靶中毒的情况下，沉积速率和反应气体流量为什么会出现迟滞现象？
