问答题
解释扩散系数及其物理含义,并说明影响扩散系数的主要因素是什么,及如何影响?
杂质的扩散流密度与杂质的浓度梯度成正比,将二者之间的比例系数定义为杂质在基体材料中的扩散系数,其单位为cm2......(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
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问答题 说明杂质在晶圆中的扩散机制及主要特点,并各举一例。
问答题 什么是扩散?并说明扩散的两个基本条件?按材料的形态划分,扩散有那几种基本形式?工艺中的高温扩散属于哪一种?
问答题 列出半导体制造中四种常见的杂质,并说明掺杂后相应的半导体硅的导电类型。