问答题
接触孔和通孔的作用是什么？它们是如何形成的？什么是钨塞。试说明其主要作用。
接触孔的作用：在金属和非金属导体间提供电学连接；形成：1）钛的淀积2）退火
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问答题 请说明在形成晶体管的有源区掺杂过程中需要进行哪些保护？分别用什么材料作为保护层？
问答题 列出简化的双阱CMOS工艺流程中的主要步骤，并说明该流程的两个主要特点。
问答题 试说明双阱CMOS工艺中用到的主要光刻掩膜版及其作用。
