判断题 靶材按制作方法的不同可分爲真空熔炼铸造靶和粉末冶金靶。

判断题 真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的。

判断题 溅射时，入射粒子的大部分能量交给了溅射出来的原子。