判断题
关于两步扩散法,第一步主要控制扩散的结深。
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判断题 常用掺杂剂是以间隙式扩散的。
判断题 方块电阻又称薄层电阻/膜电阻。
判断题 外延层的晶向与衬底的晶向相同。