多项选择题
离子注入过程中，常用的退火方法有（）
A.高温退火B.快速热退火C.氧化退火D.电阻丝退火
多项选择题 属于氧化层表面缺陷的是（）
多项选择题 为减少自掺杂现象，可以采取的措施有（）
多项选择题 铝硅合金通常会出现哪些失效现象（）
