问答题
简述离子注入工艺相对于热扩散工艺的优缺点。
优点：①精确地控制掺杂浓度和掺杂深度；②可以获得任意的杂质浓度分布；③杂质浓度均匀性、重复性好；......
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名词解释 结深
问答题 说明扩散杂质的高斯分布特点（有限源扩散属于此分布）
问答题 说明扩散杂质的余误差函数分布特点（恒定表面源扩散属于此分布）
