单项选择题
以下对于重掺磷技术的难点描述错误的是()。
A.易挥发,高浓度磷原子不能掺入硅熔体
B.磷的分凝系数过高,导致轴向掺杂不均匀
C.高浓度磷容易造成组分过冷,导致多晶
D.高浓度磷掺入的微缺陷难以准确显示
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单项选择题
A.易挥发,高浓度磷原子不能掺入硅熔体
B.磷的分凝系数过高,导致轴向掺杂不均匀
C.高浓度磷容易造成组分过冷,导致多晶
D.高浓度磷掺入的微缺陷难以准确显示
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