填空题
为了避免短沟道效应，可采用按比例缩小法则，当MOSFET的沟道长度缩短一半时，其沟道宽度应（），栅氧化层厚度应（），源、漏区结深应（），衬底掺杂浓度应（）。
【参考答案】
增大；减小；增大；增大
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填空题
增大；减小；增大；增大
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