问答题
简答题
简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。
【参考答案】
把硅片置于气态产生的等离子体，等离子体中的带正电离子物理轰击硅片表面，等离子体中的反应粒子与硅片表面发生化学反应，从而去......
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