问答题
简答题
什么是MEMS？它主要包括哪几个部分？并简述各个部分的功能。
【参考答案】
微电子机械系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一......
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