问答题
简答题
什么是快速热处理，相比于系统炉其6大优点是什么？
【参考答案】
快速热处理是在非常短的时间内，将单个硅片加热至400~1300摄氏度范围内的一种方法。
优点：减小热预算。硅中......
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