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全部科目 > 大学试题 > 工学 > 电子与通信技术 > 半导体集成电路

问答题

简答题

为何各金属层之间的连接大多都是采用CVD的W-plug(钨插塞)?

    【参考答案】

    ① 因为W有较低的电阻;
    ② W有较佳的step coverage(阶梯覆盖能力)。

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