问答题
简答题
简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。
【参考答案】
硅热氧化是氧分子或水分子在高温下与硅发生化学反应，并在硅片表面生长氧化硅的过程。
氧化的工艺目的：在硅片上生长......
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