问答题
简答题
简述硅热氧化过程中有哪些阶段？
【参考答案】
第一阶段：反应速度决定氧化速度，主要因为氧分子、水分子充足，硅原子不足。
第二阶段：扩散速度决定氧化速度，主要......
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