问答题
简答题
简述化学气相沉积（CVD）的优点。
【参考答案】
准确控制薄膜的组分和掺杂水平、可在复杂的衬底上沉积薄膜、不需要昂贵的真空设备、高温沉积可改善结晶完整性、可在大尺寸基片上......
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