问答题
简答题
离子注入后为什么要退火，高温退火和快速热处理哪个更优越，为什么？
【参考答案】
离子注入会将原子撞击出晶格结构而损伤硅片晶格。如果注入的剂量很大，被注入层将变成非晶。另外，被注入离子基本不占据硅的晶格......
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