问答题
简答题
为什么栅介质层的厚度减少有一个大致的极限?为什么现在需要高K值(介电常数)的栅介质?低K介质用在什么地方?为什么?
【参考答案】
随着特征尺寸的缩小,栅氧化层越来越薄,栅极隧穿漏电流指数性增加,从而导致功耗增加。高k介质用在替代栅氧化层,提高栅氧厚度......
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