问答题
简答题
硅化物（salicide）的形成步骤主要可分为哪些？
【参考答案】
①Co（或Ti）+TiN的沉积；
②第一次RTA（快速热处理）来形成Salicide。
③将未反应的......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
相关考题
-
问答题
何谓硅化物( salicide)? -
问答题
简单说明SAB工艺的流层中要注意哪些？ -
问答题
SAB是什么的缩写? 目的为何？
