问答题
简答题
简述光刻工艺原理及在芯片制造中的重要性？
【参考答案】
1.光刻是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去并得到所需图形的工艺。
2.光刻的重要性是在二氧化硅或......
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