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问答题

简答题

简述硅单晶研磨清洗的重要性。

    【参考答案】

    硅片清洗的重要性:硅片表面层原子因垂直切片方向的化学键被破坏成为悬挂键,形成表面附近的自由力场,极易吸附各种杂质,如颗粒......

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