问答题
简答题
简述先进的0.18μmCMOS集成电路工艺技术工艺步骤。
【参考答案】
①双阱工艺;
②浅槽隔离工艺;
③多晶硅栅结构工艺;
④轻掺杂漏(LDD)工艺;
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名词解释
化学机械平坦化(CMP)
