问答题
简答题
说明扩散杂质的高斯分布特点（有限源扩散属于此分布）
【参考答案】
①在整个扩散过程中，杂质总量保持不变；
②扩散时间越长，扩散温度越高，则杂质扩散得越深，表面浓度越低；
③表面杂质浓度可控。
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