问答题
简答题
简述热生长氧化层与沉积氧化层的区别。
【参考答案】
①结构及质量：热生长的比沉积的结构致密，质量好。
②成膜温度：热生长的比沉积的温度高。可在400℃获得沉积氧化......
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