问答题
简答题
简述硅热氧化工艺中影响二氧化硅生长的因素。
【参考答案】
①氧化温度；
②氧化时间；
③掺杂效应：重掺杂的硅要比轻掺杂的氧化速率快
④硅片晶向：<1......
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