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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

问答题

简答题

单晶中的杂质析出和杂质条纹对单晶质量危害很大,应尽量消除。生产中消除杂质析出和杂质条纹主要采取以下几种措施。

    【参考答案】

    一、选择合适的热系统,热场是硅单晶生长的重要部分热场的优劣严重影响硅单晶的生长质量。
    二、在保证硅单晶电阻率合适......

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