问答题
简答题
直拉硅单晶工艺中，经常采用什么措施降低单晶中的氧碳含量？
【参考答案】
一、选用含氧、碳较低的多晶硅原料，多晶硅熔化时温度不要太高，尽量降低多晶硅和坩埚的反应，减少一氧化碳和一氧化硅的生成。......
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