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填空题
制备SiO
2
的方法有()、()、()、()、()等。
【参考答案】
溅射法;真空蒸发法;阳极氧化法;热氧化法;热分解淀积法
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填空题
在SiO2内和Si-SiO2界面存在有()、()、()、()等电荷。
填空题
硅平面工艺中高温氧化生成的非本征无定性二氧化硅对()、()、砷(As)、锑(Sb)等元素具有()作用。
填空题
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