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分子泵、扩散泵都不是通过容积变化来达到抽气目的。 -
判断题
蒸发镀膜时，必须将镀料加热至熔点温度以上。 -
多项选择题
溅射机理有（）。
A.直流溅射
B.反应溅射
C.热蒸发理论
D.级联碰撞理论
