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多项选择题
热偶规和热阻规工作原理基本相同，只是分别通过采集规管热丝上的（）信号来测量真空的大小。
A.电阻
B.温度
C.电流
D.压强 -
多项选择题
真空系统中进行真空测量的元件通常称为真空计或真空规管，请指出下面哪几种是常用的真空测量元件？（）
A.薄膜真空规
B.皮拉尼真空规
C.热偶真空规
D.电离真空规 -
多项选择题
与小平面源相比，点蒸发源具有（）等特点。
A.膜厚分布均匀
B.沉积速率较低
C.薄膜纯度高
D.原料浪费少
