问答题
简答题
什么是CMP？其主要作用是什么？最终目的是什么？
【参考答案】
化学机械抛光（CMP）工艺，用一种特殊的化合物来精细地磨平器件层并减小台阶的高度，是一种将化学腐蚀与机械研磨相结合从而使......
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