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单项选择题
以下哪项不是化学气相沉积（CVD）的特点？（）
A.薄膜成分易控
B.温度高
C.均匀性
D.台阶的覆盖性好 -
多项选择题
以下哪些是蒸发沉积的要素？（）
A.真空
B.氧气
C.加热
D.温度较低基片 -
多项选择题
实现应变隔离的方法有哪些？（）
A.整体硬化
B.局部硬化
C.整体软化
D.局部软化
