相关考题
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多项选择题
化学气相沉积（CVD）按照反应气压进行分类，可以分为（）。
A.常压化学气相沉积
B.低压化学气相沉积
C.等离子体增强化学气相沉积
D.高压气相沉积 -
单项选择题
以下哪项不是化学气相沉积（CVD）的特点？（）
A.薄膜成分易控
B.温度高
C.均匀性
D.台阶的覆盖性好 -
多项选择题
以下哪些是蒸发沉积的要素？（）
A.真空
B.氧气
C.加热
D.温度较低基片
