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单项选择题
以下不属于电子束加热的优点的是（）。
A.蒸发温度高
B.工艺设备简单
C.热效率高
D.高纯度淀积 -
单项选择题
以下不属于真空蒸发过程的是（）。
A.气相输运
B.薄膜淀积
C.薄膜定向
D.加热蒸发 -
单项选择题
以下磷（P）源属于气态源的是（）。
A.POCl3
B.P2O5
C.PH3
D.PCl3
