问答题
简答题
简述离子注入工艺中退火的主要作用？
【参考答案】
由于离子注入所造成的损伤区及畸形团，增加了散射中心及陷阱能级，使迁移率和寿命等半导体参数下降。此外，大部分的离子在被注入......
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