问答题
简答题
简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？
【参考答案】
对晶体进行离子注入时，当离子注入的方向与与晶体的某个晶向平行时，一些离子将沿沟道运动，受到的核阻止作用很小，而且沟道中的......
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