问答题
简答题
什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？
【参考答案】
用等离子体对薄膜线条进行刻蚀的一种新技术。
分为等离子体刻蚀、反应离子刻蚀RIE、磁增强反应离子刻蚀、高密度等......
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