单项选择题
减小球差的方法（）
A.增加球差系数和孔径半角，尤其是孔径半角
B.增加球差系数和减小孔径半角，尤其是孔径半角
C.减小球差系数和增加孔径半角，尤其是孔径半角
D.减小球差系数和孔径半角，尤其是孔径半角
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A.90
B.360
C.45
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A.形貌
B.衍射花样
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单项选择题
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A.使电子束发生聚焦，并在样品表面实现光栅扫描和角光扫描
B.使电子束发生发散，并在样品表面实现光栅扫描和角光扫描
C.使电子束发生衍射，并在样品表面实现光栅扫描和角光扫描
D.使电子束发生偏转，并在样品表面实现光栅扫描和角光扫描
