问答题
简答题
给出半导体制造中沾污及致命缺陷的定义。
【参考答案】
沾污：是指半导体制造过程中引入到半导体硅片上的任何危害芯片成品率及电学性能的不希望有的物质。
致命缺陷：是指导......
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